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半導體制造業的環境污染與清潔生產

論文類型 綜述 發表日期 2000-08-01
來源 環境保護
作者 余剛
關鍵詞 半導體制造業 清潔生產 環境污染
摘要 在分析半導體制造過程中不同工藝產生的環境污染問題的基礎上, 討論了半導體制造業開展清潔生產的原則和途徑,介紹了一些成功的清潔生產方案。

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